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雷达功率组件的金刚石微通道热沉激光加工工艺

姜海涛 崔健磊 殷东平 梅雪松

中国机械工程2021,Vol.32Issue(3):261-268,8.
中国机械工程2021,Vol.32Issue(3):261-268,8.DOI:10.3969/j.issn.1004-132X.2021.03.002

雷达功率组件的金刚石微通道热沉激光加工工艺

Femtosecond Laser Processing Technology of Diamond Micro-channel Heat Sink Based on Radar Power Module

姜海涛 1崔健磊 2殷东平 1梅雪松2

作者信息

  • 1. 中国电子科技集团公司第三十八研究所,合肥,230088
  • 2. 西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室,西安,710054
  • 折叠

摘要

关键词

飞秒激光/金刚石/微通道热沉/微通道尺寸/截面形貌

分类

机械制造

引用本文复制引用

姜海涛,崔健磊,殷东平,梅雪松..雷达功率组件的金刚石微通道热沉激光加工工艺[J].中国机械工程,2021,32(3):261-268,8.

基金项目

装备预研教育联合基金(6141A02033118) (6141A02033118)

国家自然科学基金(51735010) (51735010)

国家重点研发计划(2016YFB1102500) (2016YFB1102500)

中国机械工程

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-132X

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