中国机械工程2021，Vol.32Issue(3)：297-304,8.DOI:10.3969/j.issn.1004-132X.2021.03.007
基于多分量卷积神经网络的多晶硅晶片颜色差异检测
Color Difference Detection of Polycrystalline Wafers Based on Multi-component Convolution Neural Network
摘要
关键词
多晶硅晶片/颜色差异/多分量/卷积神经网络分类
通用工业技术引用本文复制引用
郭保苏,庄集超,章钦,吴凤和..基于多分量卷积神经网络的多晶硅晶片颜色差异检测[J].中国机械工程,2021,32(3):297-304,8.基金项目
国家自然科学基金(51605422) （51605422）
河北省自然科学基金(E2017203156,E2017203372) （E2017203156,E2017203372）
