核化学与放射化学2021,Vol.43Issue(1):74-80,7.DOI:10.7538/hhx.2020.YX.2019085
单晶硅表面钝化层在低能电子辐照前后的SIMS和XPS分析
SIMS and XPS Analysis of Interfaces in Passivation Layers on C-Silicon Under Low-Energy Electron Radiation
摘要
关键词
表面钝化/低能电子辐照/SIMS/XPS/β辐伏同位素电池分类
化学化工引用本文复制引用
杨玉青,雷轶松,向勇军,李刚,熊晓玲,徐建,董文丽..单晶硅表面钝化层在低能电子辐照前后的SIMS和XPS分析[J].核化学与放射化学,2021,43(1):74-80,7.基金项目
国家自然科学基金资助项目(11575161 ()
11605167) ()