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基于MEMS工艺的微型制冷器

童欣陈晓屏李家鹏夏明槐阳陈俊元

红外技术2021，Vol.43Issue(2)：104-109,6.

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红外技术2021，Vol.43Issue(2)：104-109,6.

基于MEMS工艺的微型制冷器

Micro-coolers Based on MEMS Technology

童欣 ¹陈晓屏 ¹李家鹏 ¹夏明 ¹槐阳 ¹陈俊元¹

作者信息

1. 昆明物理研究所,云南昆明 650223
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摘要

关键词

微机电系统/微加工/微型制冷器

分类

信息技术与安全科学

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童欣,陈晓屏,李家鹏,夏明,槐阳,陈俊元..基于MEMS工艺的微型制冷器[J].红外技术,2021,43(2):104-109,6.

红外技术

OA北大核心CSCDCSTPCD

ISSN：1001-8891

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