计量学报2021，Vol.42Issue(1)：1-8,8.DOI:10.3969/j.issn.1000-1158.2021.01.01
用于微位移测量的迈克尔逊激光干涉仪综述
Review of Michelson Laser Interferometer for Micro Displacement Measurement
摘要
关键词
计量学/微位移测量/迈克尔逊激光干涉仪/激光干涉技术/干涉仪非线性分类
通用工业技术引用本文复制引用
王冬,崔建军,张福民,闵帅博,陈恺..用于微位移测量的迈克尔逊激光干涉仪综述[J].计量学报,2021,42(1):1-8,8.基金项目
国家自然科学基金(51675497) （51675497）
北京市自然科学基金(3162034) （3162034）
国家重点研发计划专项(2017YFF0206305). （2017YFF0206305）
