用于微位移测量的迈克尔逊激光干涉仪综述OA北大核心CSCDCSTPCD
Review of Michelson Laser Interferometer for Micro Displacement Measurement
迈克尔逊干涉术测量微位移可实现纳米甚至更高的分辨力,并且具备能直接溯源至激光波长等诸多优点,是目前微位移测量的重要技术手段.以限制迈克尔逊干涉仪品质提高的非线性误差为主要切入点,对目前各种基于迈克尔逊干涉原理的激光干涉技术进行了分类介绍,主要讨论了微位移测量中实现高精度和高分辨率的干涉测量技术,最后展望了激光干涉法测量微位移的近期发展趋势.
王冬;崔建军;张福民;闵帅博;陈恺
天津大学精密仪器与光电子工程学院,天津300072中国计量科学研究院,北京100029天津大学精密仪器与光电子工程学院,天津300072浙江理工大学纳米测量重点实验室,浙江杭州310018中国计量科学研究院,北京100029
通用工业技术
计量学微位移测量迈克尔逊激光干涉仪激光干涉技术干涉仪非线性
《计量学报》 2021 (1)
双频偏振Fabry-Perot激光干涉法及其用于微位移计量的研究
1-8,8
国家自然科学基金(51675497)北京市自然科学基金(3162034)国家重点研发计划专项(2017YFF0206305).