计量学报2021，Vol.42Issue(1)：35-40,6.DOI:10.3969/j.issn.1000-1158.2021.01.06
发射率对半导体器件显微红外测温结果的影响
Influence of Emissivity of Infrared Thermal Results of Semiconductor Device
韩伟 1刘岩 1杜蕾 1郑世棋 1翟玉卫 1梁法国1
作者信息
- 1. 中国电子科技集团公司第十三研究所,河北石家庄050051
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摘要
关键词
计量学/发射率/半导体器件/显微红外热像仪/靶标分类
通用工业技术引用本文复制引用
韩伟,刘岩,杜蕾,郑世棋,翟玉卫,梁法国..发射率对半导体器件显微红外测温结果的影响[J].计量学报,2021,42(1):35-40,6.
