衬底用单晶金刚石晶格随温度变化的研究OA北大核心
Temperature-Depending Variation of Lattice of Single Crystal Diamond as Substrate
本文对CVD(Chemical Vapour Deposition,CVD)外延生长中作为衬底的高温高压(HTHP)单晶金刚石进行拉曼光谱测试,利用谱峰半高宽(FWHM)判断了衬底的结晶质量.开展了升温(室温～1000℃)和降温(1000℃ ～室温)过程中衬底晶格变化的X射线原位测量研究.实验表明:衬底的晶格常数随温度变化而变化,在1000℃时因晶格变化而产生的应力大小为GPa量级.晶格常数在降温过程要比升温过程的数值大,线膨胀系数的计算结果也发…查看全部>>
陈正佳;徐锴;陈广超
中国科学院大学材料科学与光电技术学院,北京 100049中国科学院大学材料科学与光电技术学院,北京 100049中国科学院大学材料科学与光电技术学院,北京 100049
化学化工
单晶金刚石衬底晶格常数膨胀系数氮浓度FT-IR拉曼光谱
《人工晶体学报》 2021 (1)
25-31,7
国家自然科学基金(50128790)中国科学院装备计划项目(YZ201356)
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