太阳能Issue(2)：53-57,5.DOI:10.19911/j.1003-0417.tyn20200320.01
PECVD工艺制备的背面氮化硅薄膜对双面单晶硅太阳电池EL发黑的影响
EFFECT OF REAR SiNx FILM PREPARED BY PECVD ON EL BLACKENING FOR BIFACIAL MONO-CRYSTALLINE SILICON SOLAR CELLS
张福庆 1王贵梅 1赵环 1张军杰 1朱少杰1
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摘要
关键词
单晶硅/双面太阳电池/PECVD/氮化硅薄膜/EL发黑/折射率/开槽激光分类
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张福庆,王贵梅,赵环,张军杰,朱少杰..PECVD工艺制备的背面氮化硅薄膜对双面单晶硅太阳电池EL发黑的影响[J].太阳能,2021,(2):53-57,5.
