太阳能Issue(2)：74-77,4.DOI:10.19911/j.1003-0417.tyn20200310.02
板式PECVD设备维护后初期的生产品质提升方案
PRODUCTION QUALITY IMPROVEMENT PLAN AT INITIAL STAGE AFTER FLAT PECVD EQUIPMENT MAINTENANCE
王贵梅 1赵环 1刘苗 1朱少杰 1孙晓凯1
作者信息
摘要
关键词
多晶硅太阳电池/板式PECVD设备/维护/膜厚/折射率/腐蚀速率/角阀开度分类
能源科技引用本文复制引用
王贵梅,赵环,刘苗,朱少杰,孙晓凯..板式PECVD设备维护后初期的生产品质提升方案[J].太阳能,2021,(2):74-77,4.
