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深紫外双层金属光栅偏振器的设计与分析

吴芳 步扬 刘志帆 王少卿 李思坤 王向朝

物理学报2021，Vol.70Issue(4)：178-188,11.
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物理学报2021，Vol.70Issue(4)：178-188,11.DOI:10.7498/aps.70.20201403

深紫外双层金属光栅偏振器的设计与分析

Design and analysis of bilayer metallic grating polarizer in deep ultraviolet band

吴芳 1步扬 2刘志帆 1王少卿 2李思坤 3王向朝1

作者信息

  • 1. 中国科学院上海光学精密机械研究所, 信息光学与光电技术实验室, 上海 201800
  • 2. 中国科学院大学, 材料与光电研究中心, 北京 100049
  • 3. 上海大学机电工程与自动化学院, 上海 200444
  • 折叠

摘要

关键词

双层金属光栅/偏振检测/深紫外/浸没式光刻机

引用本文复制引用

吴芳,步扬,刘志帆,王少卿,李思坤,王向朝..深紫外双层金属光栅偏振器的设计与分析[J].物理学报,2021,70(4):178-188,11.

基金项目

国家科技重大专项(批准号: 2016ZX02201-001)、广西高校光电信息处理重点实验室开放基金(批准号: KFJJ2016-03)和上海市 科委科技基金(批准号: 18511104500)资助的课题. （批准号: 2016ZX02201-001）

物理学报

OA北大核心CSCDCSTPCDSCI

1000-3290

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