物理学报2021，Vol.70Issue(4)：278-288,11.DOI:10.7498/aps.70.20201540
筒形溅射阴极的磁场优化及其高功率放电特性研究
Magnetic field optimization and high-power discharge characteristics of cylindrical sputtering cathode
摘要
关键词
高功率脉冲磁控溅射/磁电协同/增强放电/输出效率引用本文复制引用
李体军,吴忠振,崔岁寒,刘亮亮,李晓渊,吴忠灿,马正永,傅劲裕,田修波,朱剑豪..筒形溅射阴极的磁场优化及其高功率放电特性研究[J].物理学报,2021,70(4):278-288,11.基金项目
博士后创新人才支持计划 (批准号: BX20190001)、香港城市大学策略研究基金 (批准号: 7005264)和粤港科技合作资助计划 (TCFS)(批准号: GHP/085/18SZ)资助的课题. （批准号: BX20190001）
