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铝合金不同氧化处理工艺对其表面溅射MoS2膜层耐磨性的影响OA北大核心CSCDCSTPCD

Effect of Different Aluminum Oxidation Treatments on Abrasion Resistance of MoS2 Film Prepared by Magnetron Sputtering

中文摘要

目的 探究铝合金表面不同氧化处理工艺对磁控溅射制备MoS2固体润滑膜层性能的影响.方法 在溅射MoS2膜层前,对铝合金基底分别采用硫酸阳极氧化、微弧氧化、硬质氧化三种不同的氧化工艺进行预先表面处理,然后在其表面溅射沉积一层MoS2润滑薄膜.通过摩擦磨损试验对其耐磨性能进行评价,并通过SEM、XRD、EDS对薄膜表面形貌、结构及磨痕形貌、成分进行分析.结果 铝合金采用不同的氧化方式处理对表面MoS2膜层的结构不会产生影响.硫酸阳极氧化处理+磁控溅射…查看全部>>

李忠建;肖金涛;鞠鹏飞;臧旭升;徐州;刁磊

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10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2020.12.004

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