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高功率调制脉冲磁控溅射沉积TiAlSiN纳米复合涂层对钛合金基体抗氧化性能的影响研究

李玉阁 朱小鹏 吴彼 雷明凯

表面技术2020,Vol.49Issue(12):220-227,8.
表面技术2020,Vol.49Issue(12):220-227,8.DOI:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2020.12.025

高功率调制脉冲磁控溅射沉积TiAlSiN纳米复合涂层对钛合金基体抗氧化性能的影响研究

Oxidation Resistance of TiAlSiN Nanocomposite Coatings on Titanium Alloy Prepared by Modulated Pulsed Power Magnetron Sputtering

李玉阁 1朱小鹏 1吴彼 1雷明凯1

作者信息

  • 1. 大连理工大学 材料科学与工程学院 表面工程实验室,辽宁 大连 116024
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摘要

关键词

TiAlSiN纳米复合涂层/高功率调制脉冲磁控溅射/钛合金/抗氧化

分类

矿业与冶金

引用本文复制引用

李玉阁,朱小鹏,吴彼,雷明凯..高功率调制脉冲磁控溅射沉积TiAlSiN纳米复合涂层对钛合金基体抗氧化性能的影响研究[J].表面技术,2020,49(12):220-227,8.

基金项目

国家重点研发计划项目资助(2018YFA0704603) (2018YFA0704603)

国家自然科学基金(51601029,U1508218) (51601029,U1508218)

中央高校基本科研业务费(DUT19JC52) (DUT19JC52)

表面技术

OA北大核心CSCDCSTPCD

1001-3660

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