电子科技2021，Vol.34Issue(3)：6-12,7.DOI:10.16180/j.cnki.issn1007-7820.2021.03.002
金刚石悬浮液抛光单晶锗片实验研究
Experimental Study on Polishing Single Crystal Germanium Flakes with Diamond Suspension Polishing Liquid
摘要
关键词
光学材料/成像质量/单晶锗/金刚石抛光液/正交实验/尺寸效应分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
杨晓京,赵垒..金刚石悬浮液抛光单晶锗片实验研究[J].电子科技,2021,34(3):6-12,7.基金项目
国家自然科学基金(51765027) （51765027）
