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傅里叶变换红外拉曼光谱检测半导体薄膜下衬底特性

王炜陈熙仁余灯广邵军

红外与毫米波学报2021，Vol.40Issue(1)：50-55,6.

红外与毫米波学报2021，Vol.40Issue(1)：50-55,6.DOI:10.11972/j.issn.1001-9014.2021.01.009

Fourier transform infrared Raman spectroscopy for probing semiconductor substrates beneath epitaxial films

王炜 ¹陈熙仁 ²余灯广 ²邵军¹

作者信息

红外拉曼/傅里叶变换/CdTe/GaAs薄膜/信噪比

数理科学

王炜,陈熙仁,余灯广,邵军..傅里叶变换红外拉曼光谱检测半导体薄膜下衬底特性[J].红外与毫米波学报,2021,40(1):50-55,6.

国家自然科学基金项目(11974368,61675224),上海市自然科学基金项目(18ZR1446100),中国科学院上海技术物理研究所创新项目(CX-240) （11974368,61675224）

OA北大核心CSCDCSTPCDSCI

ISSN：1001-9014

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