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基于激光加工的玻璃透镜阵列制备

李乾坤 刘学青 成荣

激光技术2021，Vol.45Issue(2)：131-136,6.
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激光技术2021，Vol.45Issue(2)：131-136,6.DOI:10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2021.02.001

基于激光加工的玻璃透镜阵列制备

Fabrication of glass microlens arrays by laser-based technology

李乾坤 1刘学青 1成荣2

作者信息

  • 1. 清华大学 精密仪器系 精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京100084
  • 2. 清华大学 机械工程系,北京100084
  • 折叠

摘要

关键词

激光技术/蓝宝石/刻蚀/高温浇铸转写/微透镜阵列

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

李乾坤,刘学青,成荣..基于激光加工的玻璃透镜阵列制备[J].激光技术,2021,45(2):131-136,6.

基金项目

中国博士后科学基金资助项目(2018M631456) （2018M631456）

激光技术

OA北大核心CSCDCSTPCD

1001-3806

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