金刚石与磨料磨具工程2021，Vol.41Issue(1)：12-16,5.DOI:10.13394/j.cnki.jgszz.2021.1.0002
沉积气压对金刚石膜微米纳米结构转变的影响
Influence of deposition pressure on micron-nanometer transition of diamond film
范冰庆 1王传新 1徐远钊 1黄凯1
作者信息
- 1. 武汉工程大学材料科学与工程学院,湖北省等离子体化学与新材料重点实验室,武汉430073
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摘要
关键词
热丝CVD/金刚石薄膜/气压/微米纳米转变分类
化学化工引用本文复制引用
范冰庆,王传新,徐远钊,黄凯..沉积气压对金刚石膜微米纳米结构转变的影响[J].金刚石与磨料磨具工程,2021,41(1):12-16,5.
