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永磁体内嵌式超洁净阀及其优化设计方法

刘明潇 胡亮 傅新

液压与气动2021,Vol.45Issue(3):33-39,7.
液压与气动2021,Vol.45Issue(3):33-39,7.DOI:10.11832/j.issn.1000-4858.2021.03.005

永磁体内嵌式超洁净阀及其优化设计方法

Permanent Magnet Embedded Ultra-clean Valve and Its Optimization Design Method

刘明潇 1胡亮 1傅新1

作者信息

  • 1. 浙江大学流体动力与机电系统国家重点实验室,浙江杭州310027
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摘要

关键词

半导体/超洁净//永磁体内嵌

分类

机械制造

引用本文复制引用

刘明潇,胡亮,傅新..永磁体内嵌式超洁净阀及其优化设计方法[J].液压与气动,2021,45(3):33-39,7.

液压与气动

OA北大核心CSTPCD

1000-4858

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