光学精密工程2020，Vol.28Issue(12)：2588-2595,8.DOI:10.37188/OPE.20202812.2588
氧化硅光波导侧壁角测量精度的提高
Effective method to improve measurement accuracy of sidewall angle of silica optical waveguides
摘要
关键词
光学测量/氧化硅波导/光学成像显微镜/沉积后波导芯层/侧壁角度分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
尚鸿鹏,孙德贵,李天成,于汀,曾春红,姜会林..氧化硅光波导侧壁角测量精度的提高[J].光学精密工程,2020,28(12):2588-2595,8.基金项目
吉林省科技厅项目(No.20180101223JC) （No.20180101223JC）
长春理工大学专项基金重点支持项目(No.129954) （No.129954）
