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考虑二次反射条纹的透明被测件多表面干涉测量

常林 闫恪涛 王陈 孙涛 于瀛洁

光学精密工程2020，Vol.28Issue(12)：2605-2613,9.
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光学精密工程2020，Vol.28Issue(12)：2605-2613,9.DOI:10.37188/OPE.20202812.2605

考虑二次反射条纹的透明被测件多表面干涉测量

Multi-surface wavelength-tuning phase-shifting interferometry with parasitic fringes

常林 1闫恪涛 1王陈 1孙涛 2于瀛洁3

作者信息

  • 1. 上海大学机电工程与自动化学院,上海200444
  • 2. 复旦大学应用经济学博士后流动站,上海200433
  • 3. 浦发银行博士后科研工作站,上海200002
  • 折叠

摘要

关键词

干涉测量/多表面干涉/移相算法/二次反射信号/最小二乘迭代

分类

机械制造

引用本文复制引用

常林,闫恪涛,王陈,孙涛,于瀛洁..考虑二次反射条纹的透明被测件多表面干涉测量[J].光学精密工程,2020,28(12):2605-2613,9.

基金项目

国家重点研发计划资助项目(No.2016YFF0101905) （No.2016YFF0101905）

光学精密工程

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-924X

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