计量学报2021，Vol.42Issue(2)：144-149,6.DOI:10.3969/j.issn.1000-1158.2021.02.03
基于单稳频激光的端面距离微尺寸测量方法
Measurement of Micro Transverse Spacing Using Single Frequency-stabilized Laser
摘要
关键词
计量学/微尺寸测量/单稳频激光/端面距离/干涉条纹法/小数重合法/图像处理分类
通用工业技术引用本文复制引用
刘育彰,高宏堂,程银宝,王中宇..基于单稳频激光的端面距离微尺寸测量方法[J].计量学报,2021,42(2):144-149,6.基金项目
国家质检总局能力提升项目(24-ANL1804) （24-ANL1804）
工信部民机专项科研项目(MJZ-2018-J-70) （MJZ-2018-J-70）
四川省科技计划项目(2019YFSY0039) （2019YFSY0039）
