基于单稳频激光的端面距离微尺寸测量方法OA北大核心CSCDCSTPCD
Measurement of Micro Transverse Spacing Using Single Frequency-stabilized Laser
搭建了一种用于端面距离微尺寸测量的干涉光路,分别以频率高度稳定的532 nm波长激光和波长不确定度水平相对较差的633 nm波长激光作为光源进行照射以获取干涉图样.使用电荷耦合器件(CCD)传感器获取干涉图样,采用数字图像处理手段清晰化干涉图样,并利用条纹的像素距离计算干涉条纹级次差的小数部分,用多波长的小数重合法计算端面间距.通过系统的软件部分,利用数字图像处理的手段对干涉图像的质量进行优化,在较为简单的实验条件下实现精度较高的端面距离微尺寸测量.
刘育彰;高宏堂;程银宝;王中宇
北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院,北京100191北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院,北京100191中国计量科学研究院,北京100029北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院,北京100191
通用工业技术
计量学微尺寸测量单稳频激光端面距离干涉条纹法小数重合法图像处理
《计量学报》 2021 (2)
144-149,6
国家质检总局能力提升项目(24-ANL1804)工信部民机专项科研项目(MJZ-2018-J-70)四川省科技计划项目(2019YFSY0039)