计量学报2021，Vol.42Issue(2)：184-188,5.DOI:10.3969/j.issn.1000-1158.2021.02.09
TES用超导薄膜制备及特性研究
Deposition and Characterization of Thin Films for Superconducting Transition Edge Sensor
摘要
关键词
计量学/超导薄膜/TES/单光子探测器分类
通用工业技术引用本文复制引用
刘贤文,司坤宇,周哲海,甘海勇,徐骁龙,李劲劲,王雪深,钟青,曹文会,白剑楠,张硕,刘想靓..TES用超导薄膜制备及特性研究[J].计量学报,2021,42(2):184-188,5.基金项目
北京信息科技大学2018-2019年度"实培计划" （）
中国计量科学研究院基本科研业务费重点领域项目(AKYZD1903) （AKYZD1903）
