宇航材料工艺2021，Vol.51Issue(1)：55-59,5.DOI:10.12044/j.issn.1007-2330.2021.01.009
Parylene C薄膜微波电路的应用可行性研究
Application Feasibility of Parylene C Film in Microwave Circuit
张亚楠 1孙鹏 1周澄1
作者信息
- 1. 西安空间无线电技术研究所,西安 710000
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摘要
关键词
微波产品/Parylene C薄膜/真空化学气相沉积法/多余物/可行性分类
通用工业技术引用本文复制引用
张亚楠,孙鹏,周澄..Parylene C薄膜微波电路的应用可行性研究[J].宇航材料工艺,2021,51(1):55-59,5.
