人工晶体学报2021，Vol.50Issue(2)：283-289,7.
分子束外延生长过程中GaAs(001)表面铝液滴的扩散成核过程
Diffusion and Nucleation of Aluminum Droplet on GaAs(001) Surface during Molecular Beam Epitaxy Growth
摘要
关键词
成核生长/团簇的扩散动力学/Ⅲ-Ⅴ族半导体/分子束外延/衬底温度/沉积速率/铝液滴分类
数理科学引用本文复制引用
蒋冲,王一,丁召,黄延彬,罗子江,李志宏,李耳士,郭祥..分子束外延生长过程中GaAs(001)表面铝液滴的扩散成核过程[J].人工晶体学报,2021,50(2):283-289,7.基金项目
国家自然科学基金(61564002,11664005) （61564002,11664005）
贵州省科技计划(黔科合基础[2017]1055) （黔科合基础[2017]1055）
半导体功率器件可靠性教育部研究中心开放基金(ERCME-KFJJ2019-(07)) （ERCME-KFJJ2019-(07）
