人工晶体学报2021,Vol.50Issue(2):302-309,8.
CVD金刚石薄膜亚表面层氢杂质对表面活化反应的影响
Influence of Hydrogen Impurities in the Subsurface of CVD Diamond Films on Surface Activation Reaction
摘要
关键词
金刚石薄膜/氢杂质/化学气相沉积/密度泛函理论/结构变化/吸附能/过渡态分类
数理科学引用本文复制引用
简小刚,唐金垚,马千里,胡吉博,尹明睿..CVD金刚石薄膜亚表面层氢杂质对表面活化反应的影响[J].人工晶体学报,2021,50(2):302-309,8.基金项目
国家自然科学基金(51275358) (51275358)
中央高校专项基金(20140750) (20140750)