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CVD金刚石薄膜亚表面层氢杂质对表面活化反应的影响

简小刚 唐金垚 马千里 胡吉博 尹明睿

人工晶体学报2021,Vol.50Issue(2):302-309,8.
人工晶体学报2021,Vol.50Issue(2):302-309,8.

CVD金刚石薄膜亚表面层氢杂质对表面活化反应的影响

Influence of Hydrogen Impurities in the Subsurface of CVD Diamond Films on Surface Activation Reaction

简小刚 1唐金垚 1马千里 1胡吉博 1尹明睿1

作者信息

  • 1. 同济大学机械与能源工程学院,上海 201804
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摘要

关键词

金刚石薄膜/氢杂质/化学气相沉积/密度泛函理论/结构变化/吸附能/过渡态

分类

数理科学

引用本文复制引用

简小刚,唐金垚,马千里,胡吉博,尹明睿..CVD金刚石薄膜亚表面层氢杂质对表面活化反应的影响[J].人工晶体学报,2021,50(2):302-309,8.

基金项目

国家自然科学基金(51275358) (51275358)

中央高校专项基金(20140750) (20140750)

人工晶体学报

OA北大核心CSTPCD

1000-985X

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