物理学报2021，Vol.70Issue(6)：12-20,9.DOI:10.7498/aps.70.20201924
面向近原子尺度制造的光学测量精度极限分析
Analysis of optical measurement precision limit for close-to-atomic scale manufacturing
摘要
关键词
原子制造/光学测量/精度极限引用本文复制引用
战海洋,邢飞,张利..面向近原子尺度制造的光学测量精度极限分析[J].物理学报,2021,70(6):12-20,9.基金项目
国家重点研发计划(批准号:2016YFB0501201)和国家重大科研仪器研制项目(批准号:51827806)资助的课题. （批准号:2016YFB0501201）
