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绿色环保化学机械抛光液的研究进展

郜培丽张振宇王冬张乐振徐光宏孟凡宁谢文祥毕胜

物理学报2021，Vol.70Issue(6)：53-67,15.

物理学报2021，Vol.70Issue(6)：53-67,15.DOI:10.7498/aps.70.20201917

Research progress of green chemical mechanical polishing slurry

郜培丽 ¹张振宇 ¹王冬 ¹张乐振 ²徐光宏 ¹孟凡宁 ¹谢文祥 ¹毕胜¹

作者信息

原子级表面加工/化学机械抛光/绿色环保/作用机理

郜培丽,张振宇,王冬,张乐振,徐光宏,孟凡宁,谢文祥,毕胜..绿色环保化学机械抛光液的研究进展[J].物理学报,2021,70(6):53-67,15.

国家重点研发计划(批准号:2018YFA0703400)资助的课题. （批准号:2018YFA0703400）

OA北大核心CSCDCSTPCDSCI

ISSN：1000-3290

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