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六方氮化硼层间气泡制备与压强研究

姜程鑫陈令修王慧山王秀君陈晨王浩敏谢晓明

物理学报2021，Vol.70Issue(6)：122-128,7.

物理学报2021，Vol.70Issue(6)：122-128,7.DOI:10.7498/aps.70.20201482

六方氮化硼层间气泡制备与压强研究

Synthesis and pressure study of bubbles in hexagonal boron nitride interlayer

姜程鑫 ¹陈令修 ²王慧山 ²王秀君 ²陈晨 ³王浩敏 ²谢晓明³

作者信息

1. 上海科技大学物质学院, 上海 200031
2. 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 信息功能材料国家重点实验室, 上海 200050
3. 中国科学院大学材料科学与光电技术学院, 北京 100049
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摘要

关键词

六方氮化硼/等离子体处理/纳米气泡/范德瓦耳斯异质结

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姜程鑫,陈令修,王慧山,王秀君,陈晨,王浩敏,谢晓明..六方氮化硼层间气泡制备与压强研究[J].物理学报,2021,70(6):122-128,7.

基金项目

国家重点研发计划(批准号:2017YFF0206106)、国家自然科学基金(批准号:51772317,91964102)、中国科学院战略性先导科技专项(B类)(批准号:XDB30000000)、上海市"超级博士后"和中国博士后科学基金(批准号:2019T120366,2019M651620)资助的课题. （批准号:2017YFF0206106）

物理学报

OA北大核心CSCDCSTPCDSCI

ISSN：1000-3290

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