中国光学2021，Vol.14Issue(1)：153-162,10.DOI:10.37188/CO.2020-0148
电致发光的完全悬空超薄硅衬底氮化镓基蓝光LED器件的制备与表征
Fabrication and characterization of an LED based on a GaN-on-silicon platform with an ultra-thin freestanding membrane in the blue range
摘要
关键词
氮化镓/发光二极管/悬空薄膜/背后工艺/电致发光分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
蒋成伟,沙源清,袁佳磊,王永进,李欣..电致发光的完全悬空超薄硅衬底氮化镓基蓝光LED器件的制备与表征[J].中国光学,2021,14(1):153-162,10.基金项目
中国博士后基金(No.2018M640508) （No.2018M640508）
江苏省高校自然科学基金(No.18KJB510025) （No.18KJB510025）
南京邮电大学1311人才计划 （）
南京邮电大学国自孵化基金(No.NY218013) （No.NY218013）
