液晶与显示2021，Vol.36Issue(3)：398-404,7.DOI:10.37188/CJLCD.2020-0186
错位叠加曝光法制作楔形斜面微结构研究
Wedge-shaped bevel microstructure prepared by dislocation and superposition exposure method
董立文 1宋晓欣 1顾仁权 1张锋 1袁广才 1姚琪 1吕志军 1刘文渠 1崔钊1
作者信息
- 1. 京东方科技集团股份有限公司,北京100176
- 折叠
摘要
关键词
楔形斜面/朗伯比尔定律/错位叠加曝光/吸收系数/临界曝光能量分类
化学化工引用本文复制引用
董立文,宋晓欣,顾仁权,张锋,袁广才,姚琪,吕志军,刘文渠,崔钊..错位叠加曝光法制作楔形斜面微结构研究[J].液晶与显示,2021,36(3):398-404,7.
