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TFT制程曝光色差研究

黄霜霜 马新星 喻玥 马国永 赵辉 高文 沈建华 陈萍 阳志林 李连峰

液晶与显示2021,Vol.36Issue(3):412-419,8.
液晶与显示2021,Vol.36Issue(3):412-419,8.DOI:10.37188/CJLCD.2020-0146

TFT制程曝光色差研究

Investigation on exposure Mura in TFT process

黄霜霜 1马新星 1喻玥 1马国永 1赵辉 1高文 1沈建华 1陈萍 1阳志林 1李连峰1

作者信息

  • 1. 南京中电熊猫平板显示科技有限公司,江苏南京210046
  • 折叠

摘要

关键词

TFT/曝光色差/图像处理/照度均一性/馈入电压

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

黄霜霜,马新星,喻玥,马国永,赵辉,高文,沈建华,陈萍,阳志林,李连峰..TFT制程曝光色差研究[J].液晶与显示,2021,36(3):412-419,8.

液晶与显示

OA北大核心CSCDCSTPCD

1007-2780

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