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CVD沉积工艺对SiC涂层结晶度与耐腐蚀性能的影响

刘桂良 何宗倍 王梓璇 张瑞谦 王继平

复合材料科学与工程Issue(3):71-77,7.
复合材料科学与工程Issue(3):71-77,7.DOI:10.19936/j.cnki.2096-8000.20210328.011

CVD沉积工艺对SiC涂层结晶度与耐腐蚀性能的影响

EFFECT OF CVD DEPOSITION PROCESS ON CRYSTALLINITY AND CORROSION RESISTANCE OF SiC COATINGS

刘桂良 1何宗倍 1王梓璇 2张瑞谦 1王继平2

作者信息

  • 1. 中国核动力研究设计院 反应堆燃料及材料重点实验室,成都 610213
  • 2. 西安交通大学 材料科学与工程学院 金属材料强度国家重点实验室,西安 710049
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摘要

关键词

SiCf/SiC/复合材料/耐腐蚀性/SiC涂层/化学气相沉积/结晶度

分类

通用工业技术

引用本文复制引用

刘桂良,何宗倍,王梓璇,张瑞谦,王继平..CVD沉积工艺对SiC涂层结晶度与耐腐蚀性能的影响[J].复合材料科学与工程,2021,(3):71-77,7.

基金项目

国家自然科学基金(52001299) (52001299)

复合材料科学与工程

OA北大核心

2096-8000

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