光学精密工程2021，Vol.29Issue(1)：21-27,7.DOI:10.37188/OPE.20212901.0021
高Sc含量ScAlN薄膜的制备与表征
Preparation and characterization of ScAlN thin film with high scandium concentration
摘要
关键词
薄膜/磁控溅射/氮化铝钪/半高全宽/d33压电常数分类
数理科学引用本文复制引用
杨数强,王军强,张超,陈宇昕,尚正国..高Sc含量ScAlN薄膜的制备与表征[J].光学精密工程,2021,29(1):21-27,7.基金项目
重庆市基础科学与前沿技术研究项目(No.cstc2017jcyjAX0237) （No.cstc2017jcyjAX0237）
国家863高技术研究发展计划资助项目(No.2015AA042603) （No.2015AA042603）
国家重点研发计划资助项目(No.2018YFF01011200) （No.2018YFF01011200）
国家自然科学基金青年基金资助项目(No.61804016) （No.61804016）
国家自然科学基金资助项目(No.51775070) （No.51775070）
