河北工业科技2021，Vol.38Issue(2)：91-96,6.DOI:10.7535/hbgykj.2021yx02004
基于MEMS侧面输出的压力传感器设计
Design of pressure sensor based on MEMS side output
冯飞 1续睿玲 2秦丽1
作者信息
- 1. 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,山西太原 030051
- 2. 中北大学电子测试技术重点实验室,山西太原 030051
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摘要
关键词
传感器技术/侧面输出/光纤法珀/MEMS/光损耗分类
通用工业技术引用本文复制引用
冯飞,续睿玲,秦丽..基于MEMS侧面输出的压力传感器设计[J].河北工业科技,2021,38(2):91-96,6.
