物理学报2021，Vol.70Issue(7)：54-62,9.DOI:10.7498/aps.70.20201451
基于径向剪切干涉仪的三维位移测量技术
Measurement of three-dimensional displacements by radial shearing interferometer
摘要
关键词
三维位移测量/径向剪切干涉仪/莫尔条纹/圆光栅引用本文复制引用
王佳,刘荣明,王佳超,吴慎将..基于径向剪切干涉仪的三维位移测量技术[J].物理学报,2021,70(7):54-62,9.基金项目
国家自然科学基金(批准号:61701385)、装备预先研究领域基金(批准号:61406190121)和预研重点实验室基金(批准号:6142602200407)资助的课题. （批准号:61701385）
