物理学报2021，Vol.70Issue(7)：180-188,9.DOI:10.7498/aps.70.20201628
基于对偶单元法的三维集成微系统电热耦合分析
Electrothermal coupling analysis of three-dimensional integrated microsystem based on dual cell method
摘要
关键词
三维集成微系统/对偶单元法/电热耦合/有限元法引用本文复制引用
曹明鹏,吴晓鹏,管宏山,单光宝,周斌,杨力宏,杨银堂..基于对偶单元法的三维集成微系统电热耦合分析[J].物理学报,2021,70(7):180-188,9.基金项目
国防基础科学研究计划(国防科工局稳定支持基金)(批准号:614280620200201)、国家自然科学基金(批准号:62074121,62034002)、陕西省自然科学基金(批准号:2019GY-010)、陕西省教育厅科研计划(批准号:20JY018)和中央高校基本科研业务费专项资金(批准号:XJS191101,XJS191106)资助的课题. （国防科工局稳定支持基金）
