物理学报2021，Vol.70Issue(7)：238-245,8.DOI:10.7498/aps.70.20201716
气压对微束射频容性放电模式调制的研究
Effect of pressure on discharge mode transition in radio-frequency capacitively coupled micro-beam plasmas
摘要
关键词
微束射频容性放电/实验诊断/放电模式转换引用本文复制引用
黄就欢,高飞,王友年..气压对微束射频容性放电模式调制的研究[J].物理学报,2021,70(7):238-245,8.基金项目
国家自然科学基金(批准号:11675039,12075049)和中央高校基本科研业务费专项资金(批准号:DUT18TD06,DUT20LAB201)资助的课题. （批准号:11675039,12075049）
