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GaN-MOVPE气相自由基反应的量子化学研究

刘国峰 左然

人工晶体学报2021，Vol.50Issue(3)：469-476,8.
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人工晶体学报2021，Vol.50Issue(3)：469-476,8.

GaN-MOVPE气相自由基反应的量子化学研究

Quantum Chemistry Study on Gas Reactions Involved with Radicals in GaN-MOVPE Process

刘国峰 1左然1

作者信息

  • 1. 江苏大学能源与动力工程学院,镇江 212013
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摘要

关键词

GaN/MOVPE/密度泛函理论/自由基/气相反应

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

刘国峰,左然..GaN-MOVPE气相自由基反应的量子化学研究[J].人工晶体学报,2021,50(3):469-476,8.

基金项目

国家自然科学基金(61474058) （61474058）

人工晶体学报

OA北大核心CSTPCD

1000-985X

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