有色金属材料与工程2021，Vol.42Issue(1)：10-16,7.DOI:10.13258/j.cnki.nmme.2021.01.002
(AlCrTiZrNb)N/Al2O3纳米多层膜的微观结构和力学性能研究
Study on Microstructure and Mechanical Properties of (AlCrTiZrNb)N/Al2O3 Nano-multilayer Film
摘要
关键词
(AlCrTiZrNb)N/Al2O3纳米多层膜/磁控溅射/力学性能分类
数理科学引用本文复制引用
陈立强,李伟,刘平,何代华,张柯,马凤仓,刘新宽,陈小红..(AlCrTiZrNb)N/Al2O3纳米多层膜的微观结构和力学性能研究[J].有色金属材料与工程,2021,42(1):10-16,7.基金项目
国家自然科学基金资助项目(51471110) （51471110）
