数字技术与应用2021，Vol.39Issue(2)：10-12,3.DOI:10.19695/j.cnki.cn12-1369.2021.02.04
单晶硅窄缝化学机械抛光的控制系统设计
The Design of Control System for Monocrystalline Silicon Narrow Slot Chemical Mechanical Polishing
乔晨翊 1王昆1
作者信息
- 1. 同济大学机械与能源工程学院,上海 201804
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摘要
关键词
化学机械抛光/同步控制/运动控制卡分类
矿业与冶金引用本文复制引用
乔晨翊,王昆..单晶硅窄缝化学机械抛光的控制系统设计[J].数字技术与应用,2021,39(2):10-12,3.
