表面技术2021，Vol.50Issue(3)：91-100,10.DOI:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2021.03.008
薄膜缺陷研究进展综述
Review on the Study Progress in Defects of Coating
摘要
关键词
薄膜/缺陷/腐蚀/摩擦/薄膜生长分类
矿业与冶金引用本文复制引用
马永胜,杨馥羽,刘佰奇,张磊,杨雨晨,景泳淼,孙飞,董海义,何平,陈双凯,张志伟,陈子林..薄膜缺陷研究进展综述[J].表面技术,2021,50(3):91-100,10.基金项目
中国科学院粒子加速器物理与技术重点实验室项目(JSQ2019ZZ01) （JSQ2019ZZ01）
