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等离子体增强磁控溅射制备TiAlVSiCN涂层的抗冲蚀性能

黄晓林 魏荣华 林健凉 Robert Castillo 赵文涛

表面技术2021,Vol.50Issue(4):253-259,7.
表面技术2021,Vol.50Issue(4):253-259,7.DOI:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2021.04.025

等离子体增强磁控溅射制备TiAlVSiCN涂层的抗冲蚀性能

Erosion Resistance Properties of TiAlVSiCN Coatings Prepared by Plasma Enhanced Magnetron Sputtering

黄晓林 1魏荣华 2林健凉 2Robert Castillo 2赵文涛1

作者信息

  • 1. 北京三聚环保新材料股份有限公司 科技发展部,北京100080
  • 2. 西南研究院 机械工程部,美国 德克萨斯州 圣安东尼奥 78238
  • 折叠

摘要

关键词

等离子体增强/磁控溅射/TiAlVSiCN/纳米复合涂层/抗冲蚀性能/纳米晶/非晶

分类

矿业与冶金

引用本文复制引用

黄晓林,魏荣华,林健凉,Robert Castillo,赵文涛..等离子体增强磁控溅射制备TiAlVSiCN涂层的抗冲蚀性能[J].表面技术,2021,50(4):253-259,7.

表面技术

OA北大核心CSCDCSTPCD

1001-3660

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