硅酸盐学报2021,Vol.49Issue(4):723-735,13.DOI:10.14062/j.issn.0454-5648.20200826
直拉法单晶硅中位错影响因素研究进展
Research Progress on Influencing Factors of Dislocation in Czochralski Silicon
摘要
关键词
直拉法/单晶硅/位错/固液界面/籽晶热冲击/晶体直径分类
通用工业技术引用本文复制引用
苏文佳,李九龙,杨伟,李琛,王军锋..直拉法单晶硅中位错影响因素研究进展[J].硅酸盐学报,2021,49(4):723-735,13.基金项目
江苏省产业前瞻与关键核心技术-重点项目(BE2019009-003) (BE2019009-003)
无锡尚德太阳能电力有限公司产学研项目(20200158) (20200158)
国家自然科学基金青年基金(51206069) (51206069)
镇江仁德新能源科技有限公司与江苏大学共建产学研基地(1851130034). (1851130034)