光学精密工程2021,Vol.29Issue(2):267-277,11.DOI:10.37188/OPE.20212902.0267
BCD工艺下光电集成的单光子雪崩光电二极管及前端电路的研制
Development of photoelectric integrated single photon avalanche photodiode and front-end circuit based on BCD technology
摘要
关键词
单光子雪崩光电二极管/光电集成/BCD工艺/响应度/飞行时间传感器分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
史晓凤,庞雪,朱丽君,张新宇,张媛,韩波,李佩君,郭博,程翔..BCD工艺下光电集成的单光子雪崩光电二极管及前端电路的研制[J].光学精密工程,2021,29(2):267-277,11.基金项目
安徽省自然科学基金资助项目(No.1608085QF159,No.1808085QF209,No.2008085MF215) (No.1608085QF159,No.1808085QF209,No.2008085MF215)
安徽省高校自然科学研究重点项目(No.KJ2017A333,No.KJ2020A0536) (No.KJ2017A333,No.KJ2020A0536)
中央高校基本科研业务费专项资金资助(Nos.207201700516,20720160016) (Nos.207201700516,20720160016)
阜阳师范大学自然科学重点项目(No.2018FSKJ01ZD,No.2020FSKJ05ZD) (No.2018FSKJ01ZD,No.2020FSKJ05ZD)
阜阳师范大学一般项目(No.2019FSKJ09) (No.2019FSKJ09)
阜阳市横向项目(No.XD-HX2016005) (No.XD-HX2016005)
无锡商业化基金(No.CBE01G1748) (No.CBE01G1748)