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BCD工艺下光电集成的单光子雪崩光电二极管及前端电路的研制

史晓凤 庞雪 朱丽君 张新宇 张媛 韩波 李佩君 郭博 程翔

光学精密工程2021,Vol.29Issue(2):267-277,11.
光学精密工程2021,Vol.29Issue(2):267-277,11.DOI:10.37188/OPE.20212902.0267

BCD工艺下光电集成的单光子雪崩光电二极管及前端电路的研制

Development of photoelectric integrated single photon avalanche photodiode and front-end circuit based on BCD technology

史晓凤 1庞雪 1朱丽君 2张新宇 1张媛 1韩波 1李佩君 1郭博 1程翔2

作者信息

  • 1. 阜阳师范大学计算机与信息工程院,安徽阜阳236037
  • 2. 厦门大学航空航天学院,福建厦门361102
  • 折叠

摘要

关键词

单光子雪崩光电二极管/光电集成/BCD工艺/响应度/飞行时间传感器

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

史晓凤,庞雪,朱丽君,张新宇,张媛,韩波,李佩君,郭博,程翔..BCD工艺下光电集成的单光子雪崩光电二极管及前端电路的研制[J].光学精密工程,2021,29(2):267-277,11.

基金项目

安徽省自然科学基金资助项目(No.1608085QF159,No.1808085QF209,No.2008085MF215) (No.1608085QF159,No.1808085QF209,No.2008085MF215)

安徽省高校自然科学研究重点项目(No.KJ2017A333,No.KJ2020A0536) (No.KJ2017A333,No.KJ2020A0536)

中央高校基本科研业务费专项资金资助(Nos.207201700516,20720160016) (Nos.207201700516,20720160016)

阜阳师范大学自然科学重点项目(No.2018FSKJ01ZD,No.2020FSKJ05ZD) (No.2018FSKJ01ZD,No.2020FSKJ05ZD)

阜阳师范大学一般项目(No.2019FSKJ09) (No.2019FSKJ09)

阜阳市横向项目(No.XD-HX2016005) (No.XD-HX2016005)

无锡商业化基金(No.CBE01G1748) (No.CBE01G1748)

光学精密工程

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-924X

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