光学精密工程2021，Vol.29Issue(2)：297-304,8.DOI:10.37188/OPE.20212902.0297
三自由度弱耦合谐振式微质量测量传感器
Three-DoF weakly coupled resonator micro-balance for mass detection
摘要
关键词
微质量传感器/三自由度/模态局部化/弱耦合/谐振器分类
机械制造引用本文复制引用
肖奇军,罗忠辉,郭大为..三自由度弱耦合谐振式微质量测量传感器[J].光学精密工程,2021,29(2):297-304,8.基金项目
广东省自然科学基金资助项目(No.2016A030313846) （No.2016A030313846）
广东省教育厅特色创新项目(No.2017KTSCX197) （No.2017KTSCX197）
肇庆市高校重点学科-电子科学与与技术 （）
