现代制造工程Issue(2)：1-7,7.DOI:10.16731/j.cnki.1671-3133.2021.02.001
Si含量对TaN/TiSiN纳米多层膜结构和性能的影响
Influence of Si content on microstructure and properties of TaN/TiSiN nano-multilayer film
摘要
关键词
纳米多层膜/Si含量/微观结构/硬度/摩擦学性能分类
矿业与冶金引用本文复制引用
阎红娟,田沁叶,张淑婷,司丽娜,刘峰斌,李春阳..Si含量对TaN/TiSiN纳米多层膜结构和性能的影响[J].现代制造工程,2021,(2):1-7,7.基金项目
国家自然科学基金项目(51575004) （51575004）
北京市自然科学基金-市教委联合资助项目(KZ201910009010) （KZ201910009010）
北方工业大学毓优团队计划项目(XN212/017) （XN212/017）
北方工业大学学生科技活动项目(XN211/004) （XN211/004）
