太阳能Issue(4)：74-80,7.DOI:10.19911/j.1003-0417.tyn20200427.01
预热型管式PECVD设备结构及其对镀膜性能影响的研究
RESEARCH ON STRUCTURE OF PREHEATING TUBULAR PECVD EQUIPMENT AND ITS INFLUENCE ON COATING PERFORMANCE
龙会跃 1李明 1郭艳1
作者信息
- 1. 湖南红太阳光电科技有限公司,长沙 410205
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摘要
关键词
管式PECVD/预热/镀膜/均匀性/优化设计分类
能源科技引用本文复制引用
龙会跃,李明,郭艳..预热型管式PECVD设备结构及其对镀膜性能影响的研究[J].太阳能,2021,(4):74-80,7.
