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不同脉冲激光沉积距离对TiO2沉积薄膜的影响

董晨钟 刘金柱 苏茂根 杜颖 胡素素

西北师范大学学报(自然科学版)2021,Vol.57Issue(3):39-43,5.
西北师范大学学报(自然科学版)2021,Vol.57Issue(3):39-43,5.DOI:10.16783/j.cnki.nwnuz.2021.03.007

不同脉冲激光沉积距离对TiO2沉积薄膜的影响

Effect of different distance for pulsed laser deposition on deposited TiO 2 thin films

董晨钟 1刘金柱 1苏茂根 1杜颖 1胡素素1

作者信息

  • 1. 西北师范大学 物理与电子工程学院/甘肃省原子分子物理与功能材料重点实验室,甘肃 兰州 730070
  • 折叠

摘要

关键词

脉冲激光沉积/金红石TiO2/TiO2薄膜/Magnéli相氧化钛

分类

化学化工

引用本文复制引用

董晨钟,刘金柱,苏茂根,杜颖,胡素素..不同脉冲激光沉积距离对TiO2沉积薄膜的影响[J].西北师范大学学报(自然科学版),2021,57(3):39-43,5.

基金项目

国家自然科学基金资助项目(11874051,12064040,11904293) (11874051,12064040,11904293)

甘肃省科技攻关项目(20JR5RA530) (20JR5RA530)

基础研究创新课题基金资助项目(20JR5RA541) (20JR5RA541)

西北师范大学学报(自然科学版)

OA北大核心CSTPCD

1001-988X

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