桂林电子科技大学学报2020，Vol.40Issue(6)：498-504,7.
基于Nios Ⅱ的光刻机运动台电机驱动控制系统设计
Design of Nios Ⅱ based motor drive control system for motion table of lithography machine
摘要
关键词
NiosⅡ软核/电机驱动/控制/FPGA/架构升级/光刻机分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
庞权岗,胡放荣,张文涛,石公含..基于Nios Ⅱ的光刻机运动台电机驱动控制系统设计[J].桂林电子科技大学学报,2020,40(6):498-504,7.基金项目
国家自然科学基金(11574059) （11574059）
广西自然科学基金(2018GXNSFAA050043) （2018GXNSFAA050043）
国家科技重大专项(2017ZX02101007-003) （2017ZX02101007-003）
广西自动检测技术与仪器重点实验室基金(YQ16101) （YQ16101）
