桂林电子科技大学学报2020，Vol.40Issue(6)：511-515,5.
光栅尺标定系统的设计及仿真
Design and simulation of grating scale calibration system
摘要
关键词
模块化设计/标定系统/模态分析/谐波分析分类
机械制造引用本文复制引用
熊显名,吴坚,杜浩..光栅尺标定系统的设计及仿真[J].桂林电子科技大学学报,2020,40(6):511-515,5.基金项目
国家科技重大专项子课题(2017ZX02101007-003) （2017ZX02101007-003）
